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                                        针检天下,芯系未来——38所超级针X射线成像系统在沪首发

                                        来源:信息发布     作者:信息发布∏人员     发布时间:2018年10月31日     浏览次数:         

                                          10月31日,大发云彩神app集团公司第三十八研究所在第92届中国(上海)电子展上,首次发布一▽款自主研制的新一代无损检↘测设备——超级针X射线成像系统。首发∑仪式上】,中国半导体行业协会副理事长、中国电子信息产业集团公司副△总经理陈旭,大发云彩神app集团公司科技部副←主任李斌等领导和嘉宾共同为新产品揭幕。中国电科38所所长陈信↑平、所长助理万静龙,有关客户、行业代表出席发布会。

                                          微焦点X射线成像系统是工业∞无损检测的常规必备设备,由于具有良好的空间分辨率(微米甚至亚微米级),能够◥观察物体内部的精细结构,此类设备广泛应用于集成电路、电子器件、印刷电↓路板、传感器等各种器材的无损检测。

                                          随着集成电路进一步向√高集成度、微型』化发展,先进封装工艺对封装检测设备提出了新的需★求和挑战。一方面,更精细的封装尺度要求设备分辨率提ξ升至亚微米级,而目前国际上可生产亚微米级分辨率设备的厂商屈指可数;另一方面,随着芯片制造及封装过程中越来越多地使用硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料,对轻元素材料的检测需求日益凸显,对设备检测范围提出了更高要求。因此,更高分辨率、更高对比度、更大检测范围的∩X射线检测设备已成为集成电路封装检测行业急需,以解决当前看不清、看不见等问题。超级针X射线成像系统的首次亮╲相,将有望改变这一现状。

                                          对此类X射线检︻测设备而言,X射线源就相当于“心脏”,其性能直接决定了设备的检测能力。超级针X射线成√像系统采用超级针X射线源技术,具有完全自主知识产权,因而以“超级针”冠名。中国电科38所研发团队经过近十年技术攻关,成功将超级针射线源应用于微焦点X射线成像系统,开发了“源”创产品。超级针X射线成像系统分辨率小于1微米(相当于人类发丝的百分之一),成像清晰,性能稳定,它还具备较强的低能成像◤能力,使其在硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料的精密检测方面优势明显。目前,中国电科38所针◥对该产品,已申请30余项国内外发明专利,其中申〖请美、日、欧等国际专利12项。

                                          中国电科38所相关负责人㊣表示,基于超级针X射线源技术,可面向集成◢电路、军工航天、汽车电子、医疗诊断、文物保护等不同应用领域,开发系列超级针X射线成像设备,实现产品系列化、多♂样化开发,未来具有较大的发展前景。